|
||||||||||
解答:通过建立ESD防护体系来实行静电管理。
点检规定请参考:检查验证项目周期表
类别
|
项目
|
仪器/方法
|
周期
|
备注
|
环境
|
温湿度
|
温湿度表
|
每日
|
|
洁净度
|
粒子计数仪
|
每周
|
|
|
人员装备
|
装备是否达到要求
|
目测
|
每次进入车间
|
|
综合阻值(防静电鞋的对地电阻)
|
综合阻值仪
|
|
||
手腕带对地电阻
|
手腕带检测仪
|
|
||
接地
|
接地系统电阻
|
接地阻值测量仪/摇表
|
每年
|
|
设备,工作台接地状况
|
目测
|
每日
|
|
|
设备,工作台接地电阻
|
万用表
|
每季度
|
|
|
地面
|
表面阻值
|
表面阻值仪
|
每半年
|
完工验收
|
点对点电阻
|
兆欧表
|
|||
地板接地
|
目测
|
每周
|
||
防静电工衣
|
表面电阻
|
表面阻值仪
|
每季度
|
来料检验
|
布片间点对点电阻
|
兆欧表
|
|||
摩擦电压
|
静电电压仪
|
|||
防静电鞋/拖鞋
|
体积电阻
|
综合测试仪
|
每季度
|
来料检验
|
摩擦电压
|
静电电压仪
|
每季度
|
||
导静电托盘
|
表面电阻
|
表面阻值仪
|
半年
|
来料检验
|
摩擦电压
|
静电电压仪
|
|||
防静电文件袋
|
表面电阻
|
表面阻值仪
|
每季度
|
来料检验
|
摩擦电压
|
静电电压仪
|
|
||
屏蔽袋
|
穿透能量/电压
|
专用设备
|
|
来料检验
|
防静电椅
|
表面电阻
|
表面电阻仪
|
每季度
|
来料检验
|
对地电阻
|
兆欧表
|
|||
台垫
|
表面电阻
|
表面电阻仪
|
每季度
|
施工验收
|
摩擦电压
|
静电电压仪
|
每季度
|
||
电烙铁
|
接地电阻
|
万用表
|
每季度
|
|
EPA标识
|
是否完好
|
目视
|
每月
|
|
显示器接地
|
静电场
|
静电电压仪
|
每季度
|
|
离子风机
|
偏置电压
|
CPM
|
每季度维护
每年校准
|
来料检验
|
耗散时间
|
||||
ESD胶带
|
表面电阻
|
表面阻值仪
|
|
来料检验
|